技術(shù)編號：5865327
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及例如可以使用MEMS技術(shù)來實現(xiàn)的振蕩器器件。 背景技術(shù)許多研究小組正在深入研究MEMS振蕩器，并且最近已經(jīng)發(fā)布了一些第一代產(chǎn)品。 這種類型的器件提供高Q因子、小尺寸、高級別的集成以及潛在的低成本。期望用這些器件來代替高精度振蕩器中的大體積石英晶體。這樣的振蕩器廣泛使用在計時和頻率參考應(yīng)用中，例如，移動電話中的RF模塊、 包含藍牙模塊的設(shè)備以及其他數(shù)字和通信設(shè)備。由于震蕩頻率可以取決于質(zhì)量、溫度、加速度或磁場，因此振蕩器還用作極敏感傳感器。在附圖說...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。