技術編號:5864075
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā) 明涉及一種例如作為生物傳感器或pH傳感器等來使用的傳感器及其制造方 法,尤其涉及一種具有場效應晶體管(Field Effect Transistor,F(xiàn)ET)的。背景技術目前,提出了在生物傳感器或pH傳感器等傳感器中采用了 FET的傳感器(參照 專利文獻1 3)。一般來說,在利用了 FET的傳感器中,源電極及漏電極通過形成在絕 緣膜上的通道進行電連接。通道上形成有被檢測物質的反應場。反應場中設置著用于將 被檢測物質固定的反應膜。而且,通常,從反應膜上...
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