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一種氣體傳感器的傳感元件的制作方法技術資料下載

技術編號:5863315

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本發(fā)明涉及根據(jù)獨立權利要求前序部分所述的用于確定混合氣體尤其是內燃機 廢氣中氣體成分的氣體傳感器的傳感元件、制造所述傳感元件的方法以及其應用。背景技術主要將場效應晶體管用于確定混合氣體中的氣體成分。在此,例如場效應晶體管 的柵極或柵極電極對待確定氣體成分能夠作出敏感反應,從而使得施加在柵極電極上的控 制電壓發(fā)生變化。可檢測場效應晶體管源極和漏極電極之間出現(xiàn)的電流的變化,并且將其 對應于待確定氣體成分的濃度。例如由DE 102005010454A1可知一種這...
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