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基于固支梁和直接式功率傳感器的微波檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5854800

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本發(fā)明屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)MEMS,為一種基于固支梁和直接式功率傳感器的在線式微波頻率檢測(cè)器及其檢測(cè)方法。背景技術(shù)在微波技術(shù)研究中,微波功率和頻率是表征微波信號(hào)特征的兩個(gè)重要參數(shù)。對(duì)這兩個(gè)參數(shù)的檢測(cè)已成為電磁測(cè)量的重要組成部分。微波信號(hào)頻率和功率的檢測(cè)器在軍事、個(gè)人通信和科學(xué)研究等方面都有非常廣泛的應(yīng)用?,F(xiàn)有的微波頻率檢測(cè)技術(shù)主要基于外差法、計(jì)數(shù)法、諧振法和比相法,微波功率檢測(cè)技術(shù)主要基于二極管、熱電偶和熱敏電阻的方法。盡管這些檢測(cè)技術(shù)已經(jīng)形成,但是其缺點(diǎn)在...
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