技術編號：5851656
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種檢測分析系統(tǒng)，特別是一種用于微機械傳感裝置電特性檢測分析的 系統(tǒng)。背景技術目前的電容測量技術中，往往采用電橋方法進行電容測量，參見圖1,信號生產模塊1 用來生成測試信號，測試信號的頻率范圍在40Hz到110Mhz之間，最大頻率分辨率為lmHz; 信號的輸出范圍在5mV到lV之間。信號生產模塊1連接自動電橋平衡模塊2，自動電橋平衡 模塊2用于平衡阻抗電流與被測電容電流，保持低電位Lp的零電位。其中相位檢測器檢測電 位，并控制幅值和相位使得低...
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