技術(shù)編號(hào):5851460
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基于貓眼反射原理的干涉微位移測(cè)量系統(tǒng),具體涉及一種可以應(yīng)用于納米級(jí)準(zhǔn)確度非接觸式微位移測(cè)量的基于貓眼反射原理的平衡式干涉儀光學(xué)系統(tǒng),屬于幾何量計(jì)量。背景技術(shù)微納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用,對(duì)非接觸式微位移測(cè)量技術(shù)提出了迫切需求。激光干涉測(cè)量技術(shù)以其量值可溯源、測(cè)量分辨力高等特點(diǎn),一直在高準(zhǔn)確度微位移測(cè)量中占主導(dǎo)地位,其測(cè)量準(zhǔn)確度可達(dá)到納米量級(jí)。但是,在干涉測(cè)量中通常采用的用角錐棱鏡實(shí)現(xiàn)測(cè)量光束180°轉(zhuǎn)折的方法,已無(wú)滿足一些特殊場(chǎng)合的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。