技術(shù)編號：5849625
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導體集成電路測試領(lǐng)域，特別涉及一種探針卡保護裝置。背景技術(shù)探針卡是半導體集成電路領(lǐng)域的重要器件，用于晶圓封裝前的功能測試。通過測 試挑選出不合格產(chǎn)品，避免不良產(chǎn)品進入后續(xù)工藝造成浪費，因而探針卡的性能對集成電 路制造過程中的成本有很大影響。 探針卡是一種制作成本高、易受損的精密器材。典型的探針卡是一個帶有很多探 針的印刷電路板，通過探針與待測器件進行物理和電學的接觸。在實際的生產(chǎn)使用中，探針 很容易損壞。為減少這一風險，在探針卡不使用時，通...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。