技術(shù)編號(hào)：5849410
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提出一種量程可達(dá)200萬(wàn)m/s2的特高量程微機(jī)械壓阻式加速度傳感器。它具有高固有頻率(＞200KHZ)、橫向效應(yīng)極小(＜0.0001)和工藝簡(jiǎn)單的特點(diǎn)，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域。高量程加速度傳感器的量程由硅的彎曲強(qiáng)度決定的。當(dāng)滿量程輸入時(shí)，梁上的最大應(yīng)力應(yīng)該小于硅的斷裂強(qiáng)度。這樣，就能保證加速度傳感器滿量程工作時(shí)，芯片不會(huì)由于斷裂而失效。本實(shí)用新型提供的量程可達(dá)200萬(wàn)m/s2以上的微機(jī)械壓阻式加速度傳感器結(jié)構(gòu)特征在于1.采用雙端固支的雙質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。