技術(shù)編號：5846874
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型是一種對于平板表面形貌的干涉測量裝置，特別是涉及到測量透明平板表面形貌的相位共軛干涉的結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在測量透明平板的表面形貌時，除了被測前外表面的反射光外，還存在透明平板后內(nèi)表面的反射光。因此，干涉信號中除了被測前外表面反射光與參考光Gc所產(chǎn)生的干涉信號外，還包括了被測前外表面反射光與透明平板后內(nèi)表面反射光所產(chǎn)生的干涉信號，以及后內(nèi)表面反射光與參考光Gc所產(chǎn)生的干涉信號，這些噪音使得難以正確得到透明平板被測前外表面的表面形貌。為解決這個問題，美國...
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