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懸臂梁電容式微機械微波功率傳感器的頻率檢測裝置及方法技術資料下載

技術編號:5845881

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本發(fā)明提出了基于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術的微波頻率檢測裝置,屬于微電子機械系統(tǒng)的。背景技術在微波技術研究中,微波頻率是表征微波信號特征的一個重要參數,微波頻率檢測器廣泛應用于雷達接收機中,這是因為雷達信號的頻率是在對信號進行分類和識別的過程中最重要的參數。在目前應用比較廣泛的一種微波頻率檢測器中,混頻器被一起加上了待測信號和本機的外差振蕩器準確的標準頻率,可以在混頻器的輸出端取得差頻信號,在判斷時采用零拍法作為測量依據。但是,一方面微波信號本身很有可...
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