技術(shù)編號：5844522
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，所述儀器配備有用 于產(chǎn)生沿著粒子-光學(xué)軸方向的粒子束的粒子源；用于保持對象的對象保持器(Object holder)，所述對象保持器能夠移動(translate)被放置于所述對象保持器中的對象；用于 形成所述對象的像的投影系統(tǒng)；以及用于獲取和存儲對象的像的探測器。所述方法包括提 供對象、獲取第一個像、以及確定畸變的步驟。背景技術(shù)這個方法被披露在Microsc. Microanal.(《顯微觀察與顯微分析》)期刊的2005 年第 11 期(增...
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