技術(shù)編號(hào)：5844328
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于傳感器，特別是。 背景技術(shù)1975年，I. Lundstr5m首先研制出無機(jī)氣敏場(chǎng)效應(yīng)管，他在場(chǎng)效應(yīng)管的絕緣柵上 蒸鍍一層鈀膜作為柵電極，利用鈀材料的催化特性實(shí)現(xiàn)對(duì)空氣中的微量氫氣的檢測(cè)。此后， 有關(guān)鈀、鉬和聚合物等柵MOS場(chǎng)效應(yīng)型氣體傳感器的報(bào)道相繼出現(xiàn)。隨著對(duì)器件結(jié)構(gòu)參數(shù) 和特性研究的深入，無機(jī)場(chǎng)效應(yīng)型氣敏傳感器的質(zhì)量有了很大提高。專利ZL961(^646. 4公 開了一種檢測(cè)二氧化氮的LB膜修飾的懸柵場(chǎng)效應(yīng)型氣體傳感器及其制作方法。該發(fā)明設(shè)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。