技術編號：5842843
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是一種能夠在線測量微電子機械系統(tǒng)(MEMS)薄膜應力梯度的方法, 屬于MEMS材料參數(shù)測量。背景技術MEMS技術的應用領域十分寬廣，可以用在慣性測量、微流體、光學(光開 關、顯示器件等)、壓力測量、RF器件等眾多領域。薄膜淀積是硅基MEMS (microelectro-mechanical systems)器件加工中的 一項重要工藝步驟，但由于晶格失配，結構層與襯底材料熱膨脹系數(shù)不同等不 利因素，薄膜內部會產生殘余應力以及厚度方向上的應力梯度。應力梯...
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