技術(shù)編號：5841869
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及振動(dòng)傳感器(vibration transducer )，以及例如用作MEMS (Micro Electro Mechanical System,微型機(jī)電系統(tǒng))傳感元件的微型電容式 麥克風(fēng)(condenser microphone )的振動(dòng)傳感器。本發(fā)明要求日本專利申請No.2007-280597的優(yōu)先權(quán)，所述申請的內(nèi)容 通過參考合并于此。背景技術(shù)傳統(tǒng)地，微型電容式麥克風(fēng)已得到發(fā)展并通過半導(dǎo)體器件制造方法進(jìn)行 制造。相關(guān)技術(shù)纟皮7>開在諸如...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。