技術(shù)編號(hào)：5841727
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種物理量傳感器以及用于制造這種物理量傳感器的 方法。背景技術(shù)通過將濕度感應(yīng)薄膜插入一對(duì)電極之間而制造的用作物理量傳感 器的一種常規(guī)電容型濕度傳感器，其中濕度感應(yīng)薄膜的相對(duì)介電常數(shù) 隨著濕度而變化。例如，這種類型的傳感器公開于日本公開專利申請(qǐng) No. 2002 - 243690中，其與US 6， 580， 600和US 2002-0114125A1相應(yīng)。電容型濕度傳感器通過以下方式進(jìn)行制造，形成一對(duì)電極以便使 得這對(duì)電極彼此分開并且彼此相對(duì)地位于...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。