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微納仿生矢量水聲傳感器的封裝結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5837394

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本發(fā)明涉及基于微納MEMS/NEMS加工技術(shù)與仿生學(xué)原理的微納仿生矢 量水聲傳感器,具體是一種微納仿生矢量水聲傳感器的封裝結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)科學(xué)技術(shù)發(fā)展到現(xiàn)今,人類所創(chuàng)造的技術(shù)裝置日益復(fù)雜和昂貴,體積龐大 而不可靠,不能滿足工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學(xué)和軍事技術(shù)越來越高的要求,這就迫使人們?nèi)ふ倚碌募夹g(shù)原理。另一方面,生物在億萬年的進(jìn)化過程中,通過嚴(yán)峻 的自然選擇,并在生物界的競爭中求得生存和發(fā)展,它們練就了一身獨特的本 領(lǐng),特別是在視覺和聽覺器官上表現(xiàn)得極為發(fā)達(dá),生物...
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