技術(shù)編號(hào)：5837229
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于位移精密測(cè)量傳感器。技術(shù)背景直線位移和角位移測(cè)量是最基本、最普通的測(cè)量。為了兼顧測(cè)量分辨率和量程， 許多位移傳感器采用了在基體上精密刻線的柵式結(jié)構(gòu)，如光柵、磁柵等，對(duì)其在運(yùn)動(dòng) 過程中發(fā)出的脈沖信號(hào)進(jìn)行累加計(jì)數(shù)，即實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量。高精度高密度的刻線引起很 多問題， 一方面刻線越密，就越容易受到污染。無論怎么密封保護(hù)，在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)惡劣 工況下，其微小的粉塵水氣都可能污染柵線，使之計(jì)數(shù)失效。另一方面，刻線不可能 無限地密，而現(xiàn)有的密度遠(yuǎn)不能滿足分辨力的要求...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。