技術(shù)編號:5834991
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種硅壓阻式壓力傳感器封裝結(jié)構(gòu),更確切地說本發(fā)明是一 種基于基板的硅壓阻式壓力傳感器封裝結(jié)構(gòu)。屬于微電子機械系統(tǒng)領(lǐng)域。技術(shù)背景公開號CN 1282868A的發(fā)明專利中公開了一種壓力傳感器,它包括一 基礎(chǔ)單元, 一罩形金屬容器和一彈性隔膜片。在基礎(chǔ)單元上裝有一傳感器芯 片。罩形金屬容器固定在基礎(chǔ)單元上,在罩形金屬容器中密封有硅油。基礎(chǔ) 單元有一金屬接頭、 一定位玻璃構(gòu)件、 一電極銷和一不透氣的密封玻璃構(gòu)件。如上所述,目前已有的硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。