技術編號：5833468
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于等離子體科學與，涉及到一種射頻等離子體探針裝置， 用于診斷等離子體，特別是射頻和雙頻等離子體以獲得等離子體的密度和電子 溫度等參數。 背景技術探針是診斷等離子體參數常用的裝置，可以分為單探針、雙探針等多種類 型。單探針是把一個小金屬電極置于等離子體中，在探針與等離子體地之間加 上掃描偏置電壓，然后測量探針電流隨掃描偏置電壓的變化，得到伏安特性曲 線，再通過分析伏安特性曲線就可以得到等離子體的參數。雙探針由兩個靠近 的單探針構成，掃描偏置電壓加在兩...
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