技術(shù)編號(hào):5832389
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例一般涉及加強(qiáng)彈性元件,更具體地涉及用于半導(dǎo)體器 件測(cè)試的加強(qiáng)彈性元件。相關(guān)技術(shù)描述測(cè)試是半導(dǎo)體器件制造中的重要步驟。通常,通過(guò)使設(shè)置在待測(cè)器件一一也稱(chēng)作被測(cè)器件(或DUT) _—的上表面上的端子與作為測(cè)試系統(tǒng) 一部分(比如包括在探針卡組件中)的彈性接觸元件接觸來(lái)測(cè)試半成品或 成品半導(dǎo)體器件。然而,形成在DUT上的部件尺寸的減小(例如,50微米 及以下)引起探針卡上的彈性元件的可伸縮性問(wèn)題。具體而言,為便于接 觸DUT上的更小部件而進(jìn)行的彈性元...
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