技術(shù)編號：5832137
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及通孔內(nèi)異物檢查方法和裝置，具體地說，涉及適宜檢查直徑為幾十微米的通孔內(nèi)部有無異物的方法和裝置。該檢查裝置通常的結(jié)構(gòu)如附圖說明圖14所示，采用將開孔的工件1配置在固定位置，其下方配置光源2，并且其上方配置顯微鏡單元與面積傳感攝像機(jī)4一體化的圖像獲取裝置的結(jié)構(gòu)。圖像獲取裝置可以通過Z軸自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)5升降，并且面積傳感攝像機(jī)4通過自動(dòng)聚焦單元6與圖像處理裝置7連接。通過這樣的檢查裝置，對形成圖15所示的開有多個(gè)通孔8的工件1進(jìn)行攝像，獲取的圖像以通孔8...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。