技術編號:5831345
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。確定光學表面的實際形狀偏離理想形狀的偏差的方法和裝置 背景技術本發(fā)明涉及確定光學表面的實際形狀偏離理想形狀的偏差(deviation)的方法和裝置。此外,本發(fā)明涉及光學元件的制造方法。 例如,在WO 2006/077145 A2中描述了這種類型的裝置。該裝置包括 用于產生測量波的干涉儀,其波前在此適合光學表面的理想形狀。適 合的測量波的波前在光學表面上反射之后被干涉分析,從而確定光學 表面的實際形狀偏離理想形狀的偏差。具有光學表面的光學元件例如是諸如透鏡或...
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