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確定光學表面的實際形狀偏離理想形狀的偏差的方法和裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:5831345

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確定光學表面的實際形狀偏離理想形狀的偏差的方法和裝置 背景技術本發(fā)明涉及確定光學表面的實際形狀偏離理想形狀的偏差(deviation)的方法和裝置。此外,本發(fā)明涉及光學元件的制造方法。 例如,在WO 2006/077145 A2中描述了這種類型的裝置。該裝置包括 用于產生測量波的干涉儀,其波前在此適合光學表面的理想形狀。適 合的測量波的波前在光學表面上反射之后被干涉分析,從而確定光學 表面的實際形狀偏離理想形狀的偏差。具有光學表面的光學元件例如是諸如透鏡或...
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