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慣性力傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5830514

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本發(fā)明涉及用于各種電子設(shè)備的慣性力傳感器。 背景技術(shù)以下,對現(xiàn)有的慣性力傳感器進(jìn)行說明。列舉角速度傳感器作為慣性 力傳感器。圖6是現(xiàn)有的慣性力傳感器的感測電路的電路圖。在圖6中,此角速度傳感器具備形成為音叉狀、H形、T形、音片形狀等各種形狀的振蕩 器(oscillator)(未圖示);用以使此振蕩器振動的驅(qū)動電路(未圖示);用 以感測因科里奧利力(慣性力)而產(chǎn)生于振蕩器的變形的感測電路2;以 及用以對驅(qū)動電路以及感測電路2供給電力的供電電路(未圖示)。感測...
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