技術(shù)編號(hào)：5830137
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及對(duì)來自半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的計(jì)量數(shù)據(jù)進(jìn)行變形，更具體地說，涉及用多元分析(multivariate analysis)對(duì)計(jì)量數(shù)據(jù)進(jìn)行變形。 背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造中，計(jì)量(metrology)被越來越多地使用以確保單獨(dú)的 工藝步驟以及一系列工藝步驟與設(shè)計(jì)規(guī)范相符。例如，計(jì)量可以用來識(shí)別 工藝漂移的情形，并提供足以為校正這種漂移建立控制方案的數(shù)據(jù)。盡管過去已經(jīng)使用了臨界尺寸掃描電子顯微法(CD-SEM)，但是半 導(dǎo)體襯底上形成的器件的復(fù)雜性以及它們?cè)絹碓叫?..
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。