技術(shù)編號：5828039
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于光學(xué)干涉測量儀器，特別涉及一種偏振分束錯位式干涉儀。背景技術(shù)光學(xué)干涉測量儀器是公認(rèn)的高精度測量儀器，在科學(xué)研究和生產(chǎn)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。特別是近年來，隨著高科技的發(fā)展，精密測量技術(shù)的重要性越來越明顯，干涉儀的應(yīng)用范圍越來越廣泛，并且逐漸向更多的科學(xué)領(lǐng)域發(fā)展。它主要用于測量微位移、微振動、微形變以及其它可以與之相互轉(zhuǎn)化的物理量，因此它是信息、生物醫(yī)學(xué)、力學(xué)、機(jī)械、材料等眾多科學(xué)領(lǐng)域中的一種必不可少的精密測量儀器。但是截至到本實(shí)用新型作出之前，現(xiàn)...
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