技術(shù)編號:5825912
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機械陀螺的信號處理方法及裝置,具體涉及用于消除振動式微機械陀螺正交誤差、為高性能微機械陀螺的研制提供技術(shù)支持的正交誤差處理方法及裝置。背景技術(shù)微機械陀螺是測量物體相對慣性空間旋轉(zhuǎn)運動的裝置,是慣性制導(dǎo)系統(tǒng)必不可少的角速度敏感元件,微機械陀螺的輸出信號經(jīng)放大、校正、功率放大后,用于驅(qū)動載體或平臺執(zhí)行機構(gòu)進行穩(wěn)定控制和導(dǎo)航控制。微機械陀螺的微結(jié)構(gòu)采用體硅或表面硅加工エ藝制作而成,通過將驅(qū)動端的振動利用哥氏カ耦合到敏感端來檢測角速度。但是,由于微機械...
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