技術(shù)編號：5824696
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及光學(xué)干涉測量，是一種移相橫向剪切干涉儀，特別是一種等光 程干涉、剪切量連續(xù)可調(diào)的移相橫向剪切干涉儀。背景技術(shù)橫向剪切干涉法是將待測波前與其復(fù)制波前進(jìn)行干涉，避免了采用標(biāo)準(zhǔn)波前時 所引入的系統(tǒng)誤差，具有簡單的結(jié)構(gòu)、低的環(huán)境要求與高的測量精度，以其獨(dú)到的 優(yōu)勢在波前測量中發(fā)揮著越來越重要的作用。在橫向剪切干涉儀中引入移相技術(shù)形 成移相橫向剪切干涉儀可以進(jìn)一步提高其性能，如提高靈敏度和測量精度、實(shí)現(xiàn)干 涉圖的自動化處理、給出波前三維形貌等。在先技術(shù)...
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