技術(shù)編號：5821556
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)干涉檢測領(lǐng)域，特別涉及一種基于三窗口的共光路干涉檢測方法與裝置。背景技術(shù)光學(xué)檢測方法因其非接觸、靈敏度高等特點(diǎn)，成為計(jì)量檢測領(lǐng)域的主要方法。而光學(xué)干涉測量因其靈敏度可達(dá)到百萬分之一波長量級，在精密及超精密光學(xué)檢測領(lǐng)域備受關(guān)注。目前的光學(xué)干涉檢測方法有泰曼-格林干涉法、馬赫-曾德干涉法以及剪切干涉法等。 其中，泰曼-格林干涉法、馬赫-曾德干涉法等采用分離光路干涉，即參考光束和測量光束通過不同路徑進(jìn)行干涉，易受外界振動、溫度起伏等影響；剪切干涉法...
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