技術(shù)編號：5816204
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及超高純度電子專用氣體的分配。更具體地說，本發(fā)明涉及。用于處理電子材料的超高純度化學(xué)物質(zhì)，特別是化學(xué)氣體是使生產(chǎn)電子設(shè)備達(dá)到可接受的生產(chǎn)率、產(chǎn)品可重復(fù)性及高質(zhì)量的關(guān)鍵因素，這一點(diǎn)已為人們所熟知。關(guān)于近期的綜述，參閱M.Liehr和G.W.Rubloff，J.Vac，Sci，Technol.B12，2727(1994)，將其在此引入本文作參考。眾所周知，即使在這類化學(xué)氣體的生產(chǎn)與凈化步驟中達(dá)到了高純度，但是在它們通過設(shè)備網(wǎng)(也稱為氣體分配網(wǎng))流到使用...
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