技術(shù)編號(hào)：5815766
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及混合氣體的供給方法和混合氣體的供給裝置，用于向半導(dǎo)體制造裝置的處理腔室等氣體使用對(duì)象供給作為處理氣體的由多種氣體構(gòu)成的混合氣體。 背景技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中，在向半導(dǎo)體制造裝置的處理腔室等氣體使用對(duì)象供給作為處理氣體的由多種氣體構(gòu)成的混合氣體的情況下，例如，在向等離子體蝕刻裝置的處理腔室供給蝕刻氣體的情況下，一般使用被稱為氣體箱(GAS BOX)的混合氣體供給裝置。 上述混合氣體供給裝置構(gòu)成為通過(guò)連接在一條公共配管(集管、總管(manifold))上的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。