技術(shù)編號：5801089
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)，尤其涉及一種微閥以及由其構(gòu)成的裝置。宵京扠不基于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工技術(shù)的微閥是微型流動系統(tǒng)中流 向控制的重要執(zhí)行元件，主要用于微型化學(xué)分析和藥物注射，其性能對微泵 的性能有直接影響。微閥按原理一般可分為兩種類型主動閥和被動閥兩類。 被動閥的工作特點是無需外來的致動力，僅利用流體本身參數(shù)的變化，如流 動方向，流動壓力等即可實現(xiàn)閥狀態(tài)的改變。被動閥的體積可大幅度下降至 與芯片匹配的程度，相應(yīng)加工和集成話難度亦有所降低，但其...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。