技術(shù)編號(hào)：5800292
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于精密回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)，特別涉及一種氣/固兩相復(fù)合回轉(zhuǎn)基準(zhǔn) 方法與裝置。背景技術(shù)回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)是精密/超精密測(cè)量?jī)x器、試驗(yàn)裝備與制造裝備中的核心技術(shù)之一。 氣浮軸系由于具有回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)精度高、位移靈敏度高以及摩擦損耗極小等優(yōu)勢(shì)， 作為高精度回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)已越來越多地應(yīng)用于上述設(shè)備。目前常用的氣浮軸系基本結(jié)構(gòu)主要由氣浮主軸和氣浮軸套兩部分組成，當(dāng) 在軸向和徑向構(gòu)建氣膜間隙以形成氣體支承和潤(rùn)滑后，氣浮主軸可帶動(dòng)負(fù)載在氣浮軸套內(nèi)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。然而，該類軸系結(jié)構(gòu)在實(shí)際應(yīng)用中存在如下幾...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。