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一種光刻機(jī)中的片夾上片自動(dòng)軸向定位鎖緊裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5754892

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本發(fā)明涉及一種光刻機(jī)中的片夾上片自動(dòng)軸向定位鎖緊裝置,應(yīng)用于電子束曝光機(jī)中,也可用于工業(yè)自動(dòng)化中的工件送取傳輸?shù)阮I(lǐng)域。背景技術(shù)在制作半導(dǎo)體器件(如集成電路)時(shí),需要對(duì)芯片進(jìn)行曝光等操作,片夾在承片臺(tái)上的定位精度將直接影響到曝光機(jī)的曝光質(zhì)量,片夾定位的精度是曝光機(jī)高質(zhì)量曝光圖形的前提條件和根本保證。目前公知的設(shè)備(如電子束曝光機(jī))的承片臺(tái)是靠限位開(kāi)關(guān)確定片夾上片位置, 無(wú)自動(dòng)定位鎖緊裝置。在長(zhǎng)期使用過(guò)程中,由于機(jī)械開(kāi)關(guān)彈性受損易出現(xiàn)定位不準(zhǔn)。而且, 在長(zhǎng)時(shí)間...
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