技術(shù)編號(hào)：5752672
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種空氣軸承，特別涉及用于超精密氣浮運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中運(yùn)動(dòng)部件的設(shè)計(jì)。背景技術(shù)空氣軸承(Air Bearing)是諸如顯微鏡、光刻機(jī)、超精密切削加工機(jī)等設(shè)備中所包含的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件之一。由于空氣軸承采用氣膜作為潤(rùn)滑劑，所以它具有高剛度、清潔和無(wú)摩擦等諸多優(yōu)點(diǎn)，但同時(shí)也具有在某些應(yīng)用環(huán)境下穩(wěn)定性不好的缺點(diǎn)。所述空氣軸承的穩(wěn)定性包括靜態(tài)穩(wěn)定性和內(nèi)部轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性。制約空氣軸承的靜態(tài)穩(wěn)定性的常見(jiàn)因素包括氣錘振蕩現(xiàn)象、氣體流動(dòng)時(shí)在...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。