技術編號：5742663
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及質量流量控制器領域，尤其涉及一種質量流量控制器調節(jié)閥。 質量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)由質量流量計、控制器組成，不但 具有流量計的功能，還能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地 將流量恒定在設定值上。由分流器通道、流量傳感器和放大電路等部件組成，在質量流量 計的基礎上，再加上調節(jié)閥和PID (Proportion IntegrationDif ferentiation,比例積分微 分)...
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