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密封件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5729328

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本發(fā)明涉及密封件。該密封件在真空泵中獲得特殊但不專用的用途。 背景技術(shù)真空泵被認(rèn)為在其泵腔內(nèi)無(wú)油并因而在潔凈制造環(huán)境如半導(dǎo)體行業(yè)中是有 用的。這些干式真空泵一般是在每個(gè)泵級(jí)中采用相互互嚙合轉(zhuǎn)子的多級(jí)容積式 泵。這些轉(zhuǎn)子可以在每級(jí)中有相同的型線或者其型線可以在級(jí)與級(jí)之間變化。在羅茨或Northey ("爪型")型干式真空泵中,該定子基本上由許多單獨(dú)的 定子元件構(gòu)成,這些轉(zhuǎn)子位于在這些定子元件之間所限定的泵腔中。因此有必 要在這些定子元件之間提供密封以阻止泵送...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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