技術(shù)編號(hào)：5664708
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種成膜裝置，其能夠抑制因閥體而產(chǎn)生的按壓力變得不均勻。本發(fā)明的成膜裝置（100）具備交叉管（32），沿閥體（9）的長邊方向（D1）延伸而連接于閥體（9）；扭桿（31），一部分進(jìn)入到交叉管（32）的內(nèi)部；以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部（4），對扭桿（31）賦予旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力。并且，扭桿（31）在閥體（9）的長邊方向（D1）的中央位置通過緊固部（34）緊固于交叉管（32）。因此，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部（4）賦予給扭桿（31）的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由該交叉管（31），在閥體（9）的長邊...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。