技術(shù)編號(hào)：5638470
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于超精密測(cè)量及加工領(lǐng)域，特別涉及一種基于氣缸調(diào)節(jié)的氣-固阻尼耦合作用的空氣彈簧隔振器。背景技術(shù)性能優(yōu)異的隔振裝置是超精密測(cè)量及加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。空氣彈簧隔振器具有良好的超低頻隔振性能、承載能力高、等效剛度較低、固有頻率對(duì)載荷變化不敏感、系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)、耗能低等優(yōu)點(diǎn)，隨著超精密測(cè)量及加工技術(shù)、納米技術(shù)和超大規(guī)模集成電路制造技術(shù)的發(fā)展，空氣彈簧隔振器得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。如光刻機(jī)承載所有曝光元件的測(cè)量框架的振動(dòng)隔離。影響隔振性能的主要指標(biāo)是隔振裝置的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。