技術(shù)編號：5638
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于集成電路和半導(dǎo)體器件制造技術(shù)的工藝設(shè)備。隨著超大規(guī)模集成電路的迅速發(fā)展，對其制造工藝的要求越來越高。為解決瞬時(shí)熱處理這一技術(shù)關(guān)鍵，我們在1985年研制了“離子注入半導(dǎo)體瞬時(shí)退火設(shè)備”，該設(shè)備的石英退火腔包括矩形石英管①、固定于該管中的石墨板②、石英導(dǎo)軌③、可在石英導(dǎo)軌上滑動的石英片架④、石英托盤⑤、推動石英片架的石英桿⑥、及矩形石英管外的高頻線圈⑦，如附圖1所示。石墨板和矩形石英管外的高頻線圈組成紅外輻射光源；石英導(dǎo)軌和石英片架、石英托盤及石英桿組成半導(dǎo)體片的傳動系統(tǒng)，可使被處理半導(dǎo)體片快速推至石墨板...
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