技術(shù)編號(hào)：5637054
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開總的涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)，且更特定地涉及用于實(shí)現(xiàn)來自MEMS閥的修改的輸出響應(yīng)的閥輪廓。背景技術(shù)在此部分中的陳述僅提供了與本公開相關(guān)的背景信息且可以或可以不構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)。典型的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)控制閥是使用微制造技術(shù)合并在硅基片上的微閥。這些系統(tǒng)具有帶有在微米范圍內(nèi)測量的特征的機(jī)械部件和電部件。多種微閥裝置已用于控制流體回路內(nèi)的流體流動(dòng)。典型的微閥裝置包括通過裝置的固定的體部分支承且運(yùn)行地聯(lián)接到促動(dòng)器的可移動(dòng)閥。可移動(dòng)閥能夠響應(yīng)于提供到微閥...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。