技術編號：5636482
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及通過加壓氣體使移動體相對于固定體浮起，對其進行支承并使其移動 的高精度的靜壓軸承裝置以及具備靜壓軸承裝置的工作臺。背景技術以往，在要求高精度定位的加工裝置、檢查裝置、半導體制造裝置等中使用采用靜 壓氣體的靜壓軸承裝置。圖9表示現(xiàn)有的靜壓軸承裝置的例子。如圖9(A)所示，靜壓軸承 裝置100的構成包括形成為方柱狀的固定體120、和形成為包圍固定體120并能夠沿著固 定體120移動地構成的移動體110。圖9(B)表示圖9(A)的X-X截面放大說明圖。...
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