技術(shù)編號(hào):5631038
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明通常涉及用于微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMQ的裝置,尤其涉及在受到外部機(jī)械沖擊時(shí)具有改進(jìn)的抗損力的微型閥裝置。MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng))是一類(lèi)小型系統(tǒng),具有尺寸為微米范圍或更小的部件。這些系統(tǒng)具有電氣和機(jī)械部件。術(shù)語(yǔ)"微型機(jī)制"通常理解為制造MEMS裝置的三維結(jié)構(gòu)和活動(dòng)部。MEMS最初用于改變集成電路(電腦芯片)制造技術(shù) (例如化學(xué)蝕刻)和材料(例如硅半導(dǎo)體材料)以對(duì)這些非常小的機(jī)械裝置進(jìn)行微型機(jī)制。 當(dāng)今存在許多可以使用的微型機(jī)制方法和材料。本申請(qǐng)中使用的術(shù)語(yǔ)...
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