技術(shù)編號：5616569
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種部分解耦的平面三自由度并聯(lián)精密定位平臺。背景技術(shù)精密定位平臺在微電子、精密加工等領(lǐng)域具有廣泛需求。目前廣泛應(yīng)用的精密定位平臺可分為串聯(lián)平臺和并聯(lián)平臺兩大類。串聯(lián)平臺每一方向的運(yùn)動都由一套獨(dú)立的驅(qū)動裝置控制，因而控制容易，但其結(jié)構(gòu)龐大、安裝繁瑣、底層自由度受力大，易磨損變形。相比串聯(lián)平臺，并聯(lián)平臺具有無累積誤差、精度高、動態(tài)響應(yīng)快、結(jié)構(gòu)緊湊、剛度好等優(yōu)點(diǎn)。因此并聯(lián)平臺更能滿足精密定位的要求。一般用于精密定位的平面三自由...
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