技術(shù)編號：5608966
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于轉(zhuǎn)換多種氣體而使氣體流動(dòng)的集成氣閥。例如從多種工藝氣體中選擇規(guī)定的工藝氣體，并使此工藝氣體流入已經(jīng)預(yù)先流動(dòng)的攜帶氣體內(nèi)的可用于半導(dǎo)體制造裝置的集成氣閥。背景技術(shù) 一直以來，有通過使作為不同工藝過程的材料的氣體每次少量流動(dòng)，順次形成被膜并疊層而制造半導(dǎo)體的方法。這種方法例如如圖11框圖所示，使用下述結(jié)構(gòu)的集成氣閥，即工藝氣體流路201、202、203與攜帶氣體流路200相連，開閉閥211、212、213分別設(shè)置在各個(gè)工藝氣體流路201、20...
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