技術(shù)編號(hào):5605017
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在需要進(jìn)行流體控制的流體輸送配管中所使用的流體控制 裝置。更加詳細(xì)而言,涉及主要在半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)的設(shè)置、配管以及配 線連接容易,即便流過(guò)脈動(dòng)的流體也能夠不出問(wèn)題地進(jìn)行流量控制,能夠 在較大的流量范圍內(nèi)微細(xì)地進(jìn)行流量控制的流體控制裝置。背景技術(shù)一直以來(lái),作為半導(dǎo)體制造工序的一個(gè)工序,使用以純水稀釋氫氟酸 等化學(xué)液而得的洗凈水對(duì)晶片表面進(jìn)行蝕刻的濕式蝕刻。有必要以高精度 對(duì)這些濕式蝕刻的洗凈水的濃度進(jìn)行管理。近年來(lái),以純水與化學(xué)液的流 量比對(duì)洗凈水...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。