技術(shù)編號：5591167
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于超精密測量與超精密加工裝備，主要涉及一種基于氣浮零位基準(zhǔn)和激光自準(zhǔn)直測量的磁浮隔振平臺。背景技術(shù)在超精密計量測試和超精密加工領(lǐng)域中，具有高質(zhì)量水平姿態(tài)的平臺是進(jìn)行精密測量和大規(guī)模集成電路制造的基本保證。高質(zhì)量水平姿態(tài)磁浮隔振平臺的應(yīng)用十分廣泛。在生物科學(xué)、電子光學(xué)、精密機(jī)械加工、理化試驗及其研究相關(guān)的工廠中，平臺的水平姿態(tài)控制會影響到機(jī)器設(shè)備的測量實驗結(jié)果和儀表器械的使用性能，并且會直接影響磁浮隔振平臺對振動的抑制性能。隨著超精密測量儀器和超精密...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。