技術編號：5577281
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般而言涉及用于隔離和密封氣體反應物質的器件。尤其涉及在微電子生產工業(yè)中應用的氣體純化器、過濾器和監(jiān)測器。本發(fā)明特別地涉及到帶有內置隔膜的閥組件的純化器，用于隔離和密封要純化的氣體，使之與周圍環(huán)境隔離。用于純化、過濾或監(jiān)測氣體的各種類型的器件被廣泛應用于工業(yè)中。例如，由于半導體芯片的幾何尺寸已變得更小，用于生產半導體的氣體必須是超凈的。氣體純化器在微電子工業(yè)中已應用了許多年，用以除去這些氣體中的分子的或顆粒的雜質。由于用于半導體生產的許多氣體是有毒的...
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