技術(shù)編號(hào)：5552572
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)MEMS的,具體涉及一種采用SMA (Shape MemoryAlloy,形狀記憶合金)的元件級(jí)MEMS器件主動(dòng)隔振器，其利用SMA材料變彈性模量特性，基于MEMS加工工藝的元件級(jí)MEMS主動(dòng)隔振器。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是集微機(jī)械與微電子功能于一體的微型機(jī)電器件或系統(tǒng)，基于MEMS技術(shù)的器件(如MEMS傳感器、驅(qū)動(dòng)器)由于其體積小、重量輕、靈敏度高而廣泛應(yīng)用，尤...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。