技術(shù)編號：5548208
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用于感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)的快速接頭。背景技術(shù)感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)主要用于生產(chǎn)晶圓，在生產(chǎn)過程中，有專用工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)對其進(jìn)行溫控，起到保溫的作用。現(xiàn)有工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)都是直接從水源端通過水管通入感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)中，長期使用后，水管中會(huì)堆積很多的水垢，進(jìn)而很容易造成水管的堵塞，由此，工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)起不到溫控和保溫的作用，大大影響了晶圓的生產(chǎn)質(zhì)量，造成大量廢品、次品的出現(xiàn)，對企業(yè)造成極大的損失。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的，就是為了解決上...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。