技術(shù)編號(hào)：5540874
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種閥裝置，尤其是應(yīng)用于例如MEMS-結(jié)構(gòu)(微型機(jī)電系統(tǒng))中的微型控制閥。申請(qǐng)領(lǐng)域控制閥主要應(yīng)用于氣動(dòng)系統(tǒng)，如氣動(dòng)制造系統(tǒng)中，用來(lái)控制大型氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)中的壓力。該執(zhí)行機(jī)構(gòu)應(yīng)用于工藝處理設(shè)備中，例如應(yīng)用于移動(dòng)大型機(jī)械設(shè)備或?qū)Υ笮烷y進(jìn)行控制的生產(chǎn)過(guò)程中。該控制閥經(jīng)常被用作為IP調(diào)節(jié)器，其具有一個(gè)電(I為電流)輸入和一個(gè)氣動(dòng)(P為壓力)輸出，這樣，當(dāng)一個(gè)供給裝置，如具有較高恒定壓力的壓縮機(jī)提供氣體輸入的時(shí)候，一個(gè)模擬的電信號(hào)就會(huì)在輸出端產(chǎn)生相應(yīng)比例的氣...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。